微波化学气相沉积炉

型号/model

WBMW-QXCJ4

可加热材料

非易燃易爆的任何材料

微波频率

2.45GHZ±50MHz

加热方式

纯微波加热、传统电加热、混合加热

大功率/KW

4  (功率可调)

温度测试元件

微波场传感器

控温精度/℃

±2

加热管材质

石英管

高温合金管

刚玉管

加热温度/℃

1200℃

1200℃

1600℃

管径(外径/内经X长度)/mm

∅45/∅35×1200，可选配，大外径∅60mm

加热速度（高）

≦200

升温速率不限

≦50

恒温区长度

标配恒温区长度10mm，恒温去长度10mm～1000mm以上可选

温区

可多温区同时加热

气路法兰

不锈钢法兰

质量流量控制

美国Alicat质量流量&控制器、七星华创质量流量&控制器
气柜、气路及各类阀门，可配套计算机自动控制系统及软件

气路数量

2路或3路

流量范围

0-1SLM(标准升/分，可选配）氮气标定

精度

±0.2%F.S

响应时间

≤1sec

工作压力

进气压力0.05-0.35Mpa(表压力），流量规格≤10SLM

系统连接方式

采用KF快速连接波纹管、高真空手动挡板阀及数显真空测量仪

规格

高真空

系统真空范围

标准大气压～10-3Pa

真空泵

简单机械泵抽真空和不锈钢法兰
10-1Pa真空用高品质机械泵及真空计
10-2Pa真空用高品质机械泵、扩散泵及真空计
10-3Pa真空用高品质机械泵、分子泵及真空计

炉腔尺寸/mm

700X350X530

加热腔(标配)

0.5-3L 2个

加热腔大小

0.94L，2.12L，3.8L

升温速率(标配)

0～1000℃/min可根据实际任意设定，可编程、分段加热

外型尺寸/mm

1500´750´1560

微波泄漏/  mW/㎝

≤0.4

提供相关配件

高温手套×1、中文说明书×1

保质期

整机保修1年